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FULL ORDER PRODUUCT

フルオーダー機械製作

商品名・装置名

IR硬化炉

​商品説明・概要

フレキソ印刷機にて塗布された基板上の配向膜、または絶縁膜をIRヒーターを上下に搭載し、焼成・硬化処理冷却バッファーを行う装置。

基盤投入時に放熱を防ぐため開閉扉がついています。

独立した多段炉なため、各段を自由に温度設定が出来ます。

主な用途先

半導体製造装置関連、FPD製造装置関連

仕 様

​温度性能

室温〜350度(ガラス表面温度)

​温度精度

表面温度±5度以内

方 式

マイカヒーター

ヒーター出力

AC200V/50Hz 3φ 10KVA

​熱 量

10.78mj

​圧縮空気

0.5Mpa 50L/min

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画像ギャラリー

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