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FULL ORDER PRODUUCT
フルオーダー機械製作
商品名・装置名
4段乾燥炉チャンバータイプ
商品説明・概要
FPD基板上に印刷された塗膜を基盤表面に(反塗布面側)より、加熱することでガラス基板を加熱乾燥させる乾燥機。
チャンバー引き出しタイプにつきメンテナンスが容易。
基盤受渡しはピン昇降を使用、サーボモーター制御で3段階の高さ調整が可能。
仕 様
温度性能
室温〜150度（ガラス表面温度）
温度精度
表面温度±3度以内
方 式
マイカヒーター・分割制御
ヒーター出力
AC220V 1φ 3kw
電 力
AC/380/50Hz 3φ 20KVA
圧縮空気
0.5Mpa 100L/min
主な用途先
半導体製造装置関連、FPD製造装置関連
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画像ギャラリー
 4段乾燥炉チャンバータイプ内部 |  4段乾燥炉チャンバータイプ本体 |  4段乾燥炉チャンバータイプ昇降部 |
|---|---|---|
 4段乾燥炉チャンバータイプチャンバー部 |
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