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FULL ORDER PRODUUCT

フルオーダー機械製作

商品名・装置名

G6乾燥機

基板サイズ1500×1850mm

​商品説明・概要

LCD基板上に印刷された塗膜を基板裏面(反塗布面側)により加熱することで、 ガラス基板を加熱乾燥させる乾燥機。

9分割制御方式のため、基板上の温度管理を均一にできる。

乾燥時に起きる、ピンムラ対策として、Φ1mmのワイヤーで基板受け渡しを行う。

ワイヤー位置は、ステッピングモータを使用(8ユニット) パターン外の位置に設定を行うことで、パターン内の乾燥ムラを防止する。

仕 様

​温度性能

室温〜200度(プレート上)

​温度精度

表面温度±3度以内

方 式

マイカヒーター・9割制御

ヒーター出力

2200W×9回路 19.8Kw

電 力

三相200V 50/60HZ

​圧縮空気

0.5Mpa 100L/min

主な用途先

半導体製造装置関連、FPD製造装置関連

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画像ギャラリー

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