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MACHINED PARTS

加工部品受注販売

商品名・装置名

高温ヒーター

​商品説明・概要

■600度Cの高温を安定維持

安定して600度の高温を維持出来る。

ヒーター表面温度精度は±2%以内を確保。

■ヒーターが薄いため温度レスポンスかに優れている。

20〜600度まで10分以内で昇温可能。

■低発塵性

ヒーター材料が低発塵性のためクラス10に対応する。

主な用途先

  • 半導体製造工程

  • FPD装置アレイ工程

  • ​有機EL工程

  • コーターディレロッパー

  • ベーク炉

  • アニール炉・フラットガラス焼成炉

仕 様

​温度帯

最高600℃

対応サイズ

幅 :最大1000mm
長さ:最大2000mm
​厚み:6~10mm(金属ケースを除く)

昇温速度

ワット密度:最大3.0W1/㎡

電力密度

⊿T:最大2.5°C/sec

​温度精度

ヒーター表面温度 ±2% / ℃

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高温ヒーター

高温ヒーター

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