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MACHINED PARTS
加工部品受注販売
商品名・装置名
高温ヒーター
商品説明・概要
■600度Cの高温を安定維持
安定して600度の高温を維持出来る。
ヒーター表面温度精度は±2%以内を確保。
■ヒーターが薄いため温度レスポンスかに優れている。
20〜600度まで10分以内で昇温可能。
■低発塵性
ヒーター材料が低発塵性のためクラス10に対応する。
主な用途先
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半導体製造工程
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FPD装置アレイ工程
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有機EL工程
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コーターディレロッパー
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ベーク炉
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アニール炉・フラットガラス焼成炉
仕 様
温度帯
最高600℃
対応サイズ
幅 :最大1000mm
長さ:最大2000mm
厚み:6~10mm(金属ケースを除く)
昇温速度
ワット密度:最大3.0W1/㎡
電力密度
⊿T:最大2.5°C/sec
温度精度
ヒーター表面温度 ±2% / ℃
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画像ギャラリー
高温ヒーター |
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