LCD基板上に印刷された塗膜を基板裏面(反塗布面側)により加熱することで、ガラス基板を加熱乾燥させる乾燥機。

加熱された基板を冷却する。

冷却バッファー 基盤供給と搬出を行うローダー・アンローダー移載用ロボットにより構成されています。