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PURCHASED PARTS
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Product name/equipment name
LM Guide
Product Description/Overview
High positioning accuracy Maintains high accuracy for a long period of time Enables high-speed motion with low driving force.
Equal load capacity in all directions Easy installation and good compatibility
ヒーター形状(角型、丸形、ドーナツ型)の製作、穴あけ加工など 用途にあった自由設計が可能。
5.自由設計なので Hot Plateの分割制御に適している。
6.個体差による抵抗値が少ない。
7.製造期間が短い。
8.Cost performance に優れている。
Main destination
Semiconductor device related, FPD device related
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 マイカヒーター |  マイカヒーター |  マイカヒーター |
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 マイカヒーター |
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